Gsemi-S系列 | |
植 球 精 度 | ±20 |
植球能力范圍 | ≥150um |
漏 球 率 | ≤0.01%(正常產(chǎn)品無翹曲) |
最大產(chǎn)品尺寸 | 基板:300*300mm 晶圓:4/6/8/12英寸 |
最小產(chǎn)品尺寸 | 基板:50*50mm 晶圓:4/6/8/12英寸 |
產(chǎn)品厚度尺寸 | 基板:0.4~6mm(含載具) 晶圓:≥200μm |
鋼網(wǎng)框架尺寸 | 550*650mm~737*737mm(厚度:20:40mm) |
傳輸方向 | 左進(jìn)右出、右進(jìn)左出、同進(jìn)同出 |
清洗方式 | 粘輪+真空吸+離子風(fēng) |
功率要求 | AC:220 ±10%, 50/60Hz 2.2KW |
設(shè)備尺寸 | L1240mm*W1410mm*H1500mm(不含三色燈) |